第485章 一种基于激光诱导气体等离子体技术（第1页）

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新成立的华辰微电子，位于庐州，与辰芯微（庐州）工厂一路之隔。

黄小婷同华威公司安排的副手纪年华在新年过去，迅地拉起来了一支研队伍。

江奕辰率先带着设计人员对euv光刻机开展总体设计。

模拟+感应，两大s级技能同时开启。

结合此前改造光刻机曝光系统过程中，对光刻机结构的掌握，江奕辰花了一个月时间，就带队拿出了一个相对比较可行的设计图。

新型euv光刻机设计，摆脱了阿斯麦那种激光光源轰击锡靶产生极紫外光的模式，转道选择了一种基于激光诱导气体等离子体技术。

这个技术，是江奕辰s级物理、材料，以及接连数月光电领域强学习，触一次万倍暴击实现了s级的光电学带来的技术质变。

更是模拟+感应两大s级技能联合作用挥的巨大成果。

在设计过程中，江奕辰不时的进行模拟和感应，以便确定自己选择方向的正确性。

选择的时候，江奕辰能够看到不同选择道路的感应结果。

如果是正向反馈，该选择条会亮绿光。

绿光条越长，说明这选择更能实现目标。

相反，如果绿光很短，或是显示红光条，那就完全就不能选。

持续不断地选择，让江奕辰越来越接近这个技术的正确答案，有点像数学中的逼近，江奕辰的选择几乎不会出错。

在光刻机设计和制造过程中，除了轰击锡靶之外，自然还有其他潜在的极紫外光产生方式。

比如说，同步辐射光源和自由电子激光也是能够产生极紫外光的高级光源技术。

但大部分是用于科学研究或特定工业应用，而不是直接用于大规模芯片生产。

江奕辰通过强大的开创性设计，提出了激光诱导气体等离子体技术，便是利用高强度激光束照射特定气体（如氙气、氩气等稀有气体），通过激光与气体的相互作用，使气体电离并形成等离子体。

等离子体中的高能电子与离子复合时，会射出极紫外光。

当然，理论是这样，实际设计和制造过程中会遇上不少难题。

但江奕辰拿出这个技术，便是在设计上理论上已经没有了问题，是一个可以探索实验的方案。

“江董，根据总设方案，我们打算自己做光源系统、曝光系统，现在需要订购的部件支撑，主要有透镜系统、双工件台这些，初步确定了几家供应商，但他们目前的产品，远远达不到我们的要求。”

黄小婷汇报着情况。

跟着江奕辰搞了一个多月的设计，黄小婷已经对江奕辰的强大完全倾倒。

但设计归设计，能不能造出来，又是一个难题。

纪年华道，“我们想派出工作组，协助供应商改进技术，以便尽快实现我们的部件要求。”

“嗯，这是一个好办法。”江奕辰赞成，“不仅如此，咱们不要怕花钱，也不要把鸡蛋放到一个笼子里，每个部件采购供应商选择至少2家，给出足够高的价格，只要他们能够把产品做出来。”

除了总体设计，江奕辰还将各个部件进行了初步的设计。

相关供应商，只需要砸人砸钱下去，照着江奕辰画的样式，设计的要求，整出来就行。

只要验收过关，高价购买不说，还将签订长远的购销合同。

江奕辰粗略估计，一旦搭载新技术的euv光刻机量产，届时阿斯麦的技术领先优势将不复存在，甚至原本数亿米元的光刻机，将直接掉价到数千万米元。

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