第五十九章光刻（第1页）

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从相控阵雷达的基础原理，再到有源相控阵雷达的构造，从材料到电路，从元件到芯片，以及未来发展方向····姜竞株没有丝毫隐藏，深入浅出，讲得细致清楚明白，她很愿意，把这些有用的理论和技术，进行有效传播。

作为学习的听众，沈彬众人弥足感动，竞株同志不止才能超绝，天纵之才，对他们更是无私指导，诲人不倦，最耐心的老师也不过如此。

无论问题巨细，都能准确、详实地解答，甚至延伸可行方向。这些学习，将会给他们带来不知多少的改进灵感！国内雷达事业，将会就此飞腾变革！

对于姜竞株来说，她一个人不可能做所有的事情，她想要做的事情太大太广，不会局限于雷达领域太久。而这些人，才是真真正的雷达人，是属于雷达发展的坚实根基，挑起国内雷达发展重担的民族脊梁。

在曾经没有她这个蝴蝶翅膀的时候，国内雷达是他们筚路蓝缕，打造开创出属于他们雷达的辉煌，与国际先进接轨，最终超越的奇迹。

姜竞株倾囊相授，想以微薄之力，助力这些真正的雷达人，半导体先辈，能够在更快的时间，开创更高的辉煌，让他们的雷达、他们的半导体，甚至他们的原料提取···都更早的屹立东方，神龙腾飞，无人再敢略其锋芒！

在传道受业的过程中，姜竞株同时带领众人，将项目所能用到的材料，一一合成出来，锑化铟、砷化镓···这些他们不一定全部用得到，但是姜竞株知道合成方法，也做示范例子演示给大家。

姜竞株秉持着不浪费原则，他们可以不用，但是技术储备他们还是要有的。

沈彬等人第一次觉得，他们的资源是如此富裕幸福！有这么先进的技术理论可以学习，有这么多丰富的材料制备可以拥有，有这么出众的人物手把手指引···

想想他们起步雷达研发，没有图纸，拿着望远镜观察隔壁家雷达形状逆推的艰辛，他们比那掉进米缸的老鼠，还要倍加幸福！

材料到位，各个元件手稿上线，一样样元件进入加工流程，沈彬揽过这一块的跟进工作。这些元件手稿，还有雷达设计手稿，每一张，在他看来都是无价之宝，每一张，都是他们要百般学习研究的精髓。

同时，姜竞株开始协同林双芝，汪氏兄弟做集成电路芯片。接触式光刻机已经协调到位，目前的技术能够勉强光刻，但是达不到她的需求。在进行芯片光刻之前，姜竞株还需要对这部光刻机进行改进。

后世，半导体产业的璀璨星河中，光刻机无疑是最为耀眼的星辰之一。它不仅代表着半导体制造技术的巅峰，更是全球科技竞争的重要战场。

看着这部相当原始的65接触式光刻机，姜竞株眸中闪过一丝复杂之色。国家的发展，从来不是顺风顺水。他们能够安详和平盛世，是有不知多少人高瞻远瞩，负重前行。

在这么早的时候，他们已经有了和国际接轨的先进技术，此时，距离光刻机巨头ASML的成立还有近20年的时间。可以说，在光刻机研发的起跑线上，国内已经占据了先机。

只是后面国内举步维艰，无奈变革，才有了后面的奋起直追。光刻机研发团队并没有放弃。他们凭借着坚韧不拔的毅力和对科技的无限热爱，不断攻克技术难关，取得了长足的进步，他们的芯片也从无到有，自力更生，走到国际先进，不再被卡脖子！

后世记忆中，姜竞株对光刻机虽然没有主要研究，但是作为后世发展重中之重的物件儿，她自然也不陌生。

光刻是通过曝光在硅晶圆上的掩膜版上印制一些更精细的图形，所以又称为掩膜对位曝光机。

芯片的制作极其复杂。上面的线条都是以nm为单位的。普通的刻刀材料根本无法在芯片上操作，于是光刻机诞生了。

同时，光刻机是大规模集成电路生产的核心设备，一般采用紫外线将光刻版的图案转移到晶圆在表面的光刻胶上，晶圆是制作芯片的基板，是后续工作要完成的基础。

它结合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件和图像识别···从理论到技术，都代表着精简段科研技术集大成融合之作，这不是一台普通机器，而是一个诺大的系统工程。

集成线路芯片是他们必须得攻克的新技术，想要达成这个目标，光刻机的改进，是首要前提条件。感谢，她意外觉醒前世记忆，很多在这个时候渺茫难测，困扰重重的技术，在后世信息大爆发，有不少都是公开资讯。

哪怕没有详细的技术资料，但是那些明确技术，已经可以作为方向性的指引。

光刻机的作用是扫描曝光芯片晶圆，刻蚀集成电路。精度越高的光刻机，能生产出纳米尺寸更小，功能更强大的芯片。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。

EUV光刻机，正规称呼应该是极紫外线光刻机。

以波长为1014纳米的极紫外光作为光源的光刻技术，该设备当前可被应用于14纳米及以下的先进制程芯片的制造，后世资料显示，具体为采用波长为134nm的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。

几乎所有的光学材料对135nm波长的极紫外光都有很强的吸收，因此，EUV光刻机的光学系统只有使用反光镜···

有这样还算明确的方向指引，细致推导应用技术，对姜竞株来说，也就是不断的模拟尝试，花费些时间出结果的过程。

现在，海对面还没有这项技术，就让他们抢占先机，先一步做出来吧！她也不算拿来主义，毕竟她也没有那边的具体技术，还是重头一步步推演设计研发，这是他们自己的技术！

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